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气相外延 关于气相外延介绍 热推荐

2023-06-27 10:17:45

来源: 互联网


(资料图)

1、 气相外延是一种单晶薄层生长方法。

2、气相外延广义上是化学气相沉积的一种特殊方式,其生长薄层的晶体结构是单晶衬底的延续,而且与衬底的晶向保持对应的关系。

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